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贝斯特官网旗下首个面向后道工序的半导体光刻机

分辨率1.0微米(L/S※1)的数字光刻机的研发

贝斯特bst(中国区)-官方网站

在半导体的先进封装工艺领域,,,贝斯特官网致力于兼具高分辨率及逾越产机能的1.0微米(L/S)数字光刻机的研发。本产品将预约于2026年内正式发售。

陪伴着人为智能(AI)技术的遍及,,,面向数据中心的集成电路(IC)产品的需要不休扩大。在以芯粒技术为代表的先进封装领域,,,基于玻璃面板制作的封装技术(Panel Level Package)需要的扩大,,,要求了电路设计的精密化和封装的大型化。因而,,,具备高分辨率以及大领域曝光能力的光刻机也愈发不成或缺。贝斯特官网阐扬长年堆集的技术优势,,,将代表性的半导体光刻机的「高分辨率技术」和FPD曝光设备的「多透镜组技术」相融合,,,推动着新型数字光刻机的研发过程。

数字光刻机在曝光过程中无需再使用掩膜,,,而是利用SLM(空间光调制器)来天生所设计的电路图案,,,从光源发出的光经SLM反射后通过透镜光学组,,,最终在基板上成像。由于无需再制作掩膜,,,能够同时达到削减成本和缩短制作工期的双重成效。

今后,,,贝斯特官网也会不休研发创新,,,提供可能满足客户需要的光刻机,,,为高附加价值的半导体制作做出贡献。

※1 Line and Space的简称。指电路图案的线宽和相邻图案之间的间距。

※2 贝斯特官网独立研发的技术。将复数的透镜组并列,,,并通过高精密的节制技术,,,使其可能达成与单一巨大透镜同样成效的曝光能力,,,并可实现单次更广领域面积的曝光。

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